半導(dǎo)體封裝是指將通過測試的晶圓按照產(chǎn)品型號(hào)及功能需求加工得到獨(dú)立芯片的過程。
主要的半導(dǎo)體封裝測試設(shè)備具體包括:
1、減薄機(jī)。減薄機(jī)是通過減薄/研磨的方式對(duì)晶片襯底進(jìn)行減薄,改善芯片散熱效果,減薄到一定厚度有利于后期封裝工藝。
2、四探針。四探針將四個(gè)在一條直線上等距離放置的探針依次與硅片進(jìn)行接觸,在外面的兩根探針之間施加已知的電流,同時(shí)測得內(nèi)側(cè)兩根探針之間的電勢(shì)差,由此便可得到方塊電阻值。
3、劃片機(jī)。激光劃片機(jī)是利用高能激光束照射在工件表面,使被照射區(qū)域局部熔化、氣化、從而達(dá)到劃片的目的。
4、測試機(jī)。測試機(jī)是檢測芯片功能和性能的專用設(shè)備。測試時(shí),測試機(jī)對(duì)待測芯片施加輸入信號(hào),得到輸出信號(hào)與預(yù)期值進(jìn)行比較,判斷芯片的電性性能和產(chǎn)品功能的有效性。
5、分選機(jī)。分選設(shè)備應(yīng)用于芯片封裝之后的FT測試環(huán)節(jié),它是提供芯片篩選、分類功能的后道測試設(shè)備。分選機(jī)負(fù)責(zé)將輸入的芯片按照系統(tǒng)設(shè)計(jì)的取放方式運(yùn)輸?shù)綔y試模塊完成電路壓測,在此步驟內(nèi)分選機(jī)依據(jù)測試結(jié)果對(duì)電路進(jìn)行取舍和分類。
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